有幾種類型的壓電電機可以提供線性運動，其中使用最廣泛的一種是線性步進壓電電機。這些設備利用多個壓電元件的協(xié)調(diào)運動，以高分辨率和非常高的剛度產(chǎn)生幾乎無限的行程。

　　線性步進壓電電機的性能特點：

　　由于線性步進壓電電機使用摩擦力來移動驅(qū)動桿或轉(zhuǎn)輪，因此不需要機械元件并且沒有間隙，因此可以實現(xiàn)納米級（在某些情況下，皮米級）范圍內(nèi)的分辨率。多個壓電元件的使用使線性步進器具有非常好的剛度和高保持力，使其在斷電時能夠自鎖。

　　線性步進設計可以以非常慢或非常快的速度運行，最大速度高達15 mm/s。雖然可以進行無限運動，但驅(qū)動桿或轉(zhuǎn)輪的長度決定了行程，通常在幾厘米的范圍內(nèi)，盡管在某些設計中最大行程可達10厘米。

　　與其他壓電電機一樣，線性步進器是非磁性的，因此它們可以用于有磁場的應用中，并且它們本質(zhì)上是真空兼容的。

　　線性步進壓電電機的應用：

　　線性步進設計的行走運動使其成為需要長行程的壓電應用的最佳選擇。這與它們的無間隙運動相結(jié)合，為它們在掃描和顯微鏡應用以及半導體光刻設備中驅(qū)動線性平臺提供了理想的特性。由于其極高的分辨率，線性步進壓電電機可用于納升分配和醫(yī)療設備或樣品的定位。